[实用新型]一种涂硼用隧道烘干台有效

专利信息
申请号: 201921034885.1 申请日: 2019-07-04
公开(公告)号: CN210386450U 公开(公告)日: 2020-04-24
发明(设计)人: 王宇;李德鹏 申请(专利权)人: 青岛金汇源电子有限公司
主分类号: B05D3/02 分类号: B05D3/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 266000 山东省青岛市*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 实用新型公开了一种涂硼用隧道烘干台,包括烘干台底座、电机、输送网链、传送轮、电控箱、烘干罩、红外线灯、温度传感器、抽风机、排气管、抽风管、通气管和尾气处理装置,所述第一烘干罩和第二烘干罩的内部前后壁上分别固定设有第一红外线灯和第二红外线灯,所述第一烘干罩和第二烘干罩的右侧壁上分别固定设有第一温度传感器和第二温度传感器。本实用新型涂硼用隧道烘干台,采用红外线加热的方式,热效率高;可以控制烘干速度、人工涂源速度以及输送网链的速度相匹配,方便连续化生产,提高了生产效率和硅片涂硼质量,实用性强。
搜索关键词: 一种 涂硼用 隧道 烘干
【主权项】:
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