[实用新型]一种便于半导体制程尾气处理设备中管道焊接的转台有效
| 申请号： | 201921040581.6 | 申请日： | 2019-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN210633209U | 公开（公告）日： | 2020-05-29 |
| 发明（设计）人： | 项健;揣士敬;孟令二;胡余祥;李克成;沈阳;孙立军;张丹 | 申请（专利权）人： | 合肥亚笙半导体设备科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K37/053 | 分类号： | B23K37/053;B23K37/047 |
| 代理公司： | 合肥兆信知识产权代理事务所(普通合伙) 34161 | 代理人： | 胡慧 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市蜀山区高*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种便于半导体制程尾气处理设备中管道焊接的转台，包括台架，所述电机输出轴的轴心与所述台架顶部中心点在同一条轴线上，所述连接轴位于台架顶部外侧的一端固定连接有卡盘座，所述卡盘座顶部中间位置通过螺栓固定连接有三爪自定心卡盘，所述台架正面右侧靠近台架顶部的位置设有电机控制器，所述电机控制器输入端与外设电源电性连接，所述台架顶部位于卡盘座外侧的位置螺栓连有弧形挡板；本实用新型通过电机带动设置于机架上方的卡盘座及设置在卡盘座上的的三爪自定心卡盘转动，三爪自定心卡盘定位法兰，管道置于法兰上，法兰和管道一起转动，台架顶部位于卡盘座外侧的位置焊接有弧形挡板，可以有效的解决背景技术中的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 便于 半导体 尾气 处理 设备 管道 焊接 转台 | ||
【主权项】：
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