[实用新型]一种便于控制研磨去除量的游行轮有效
申请号: | 201921041961.1 | 申请日: | 2019-07-05 |
公开(公告)号: | CN210132391U | 公开(公告)日: | 2020-03-10 |
发明(设计)人: | 潘相成;马畅 | 申请(专利权)人: | 常州市好利莱光电科技有限公司 |
主分类号: | B24B37/30 | 分类号: | B24B37/30 |
代理公司: | 常州市天龙专利事务所有限公司 32105 | 代理人: | 翟丹丹 |
地址: | 213000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供一种便于控制研磨去除量的游行轮,涉及晶片打磨领域。该便于控制研磨去除量的游行轮,包括研磨腔、主动旋转轴和主动齿轮,所述主动旋转轴转动连接在研磨腔的中心并延伸至研磨腔的下方,主动齿轮固定套接在主动旋转轴位于研磨腔内部的外表面,研磨腔的侧壁开设有环形齿牙,环形齿牙和主动齿轮之间啮合有游行轮,所述游行轮包括上游行片和下游行片。该便于控制研磨去除量的游行轮,将要打磨的晶片卡接在工作孔505内,通过旋转调节按钮5035来改变旋转齿轮5034与齿槽5036的不同啮合点进而调整了上游行片501和下游行片501之间的距离,从而控制了打磨去除量,解决了现有技术中无法控制研磨去除量的问题。 | ||
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