[实用新型]一种便于控制研磨去除量的游行轮有效

专利信息
申请号: 201921041961.1 申请日: 2019-07-05
公开(公告)号: CN210132391U 公开(公告)日: 2020-03-10
发明(设计)人: 潘相成;马畅 申请(专利权)人: 常州市好利莱光电科技有限公司
主分类号: B24B37/30 分类号: B24B37/30
代理公司: 常州市天龙专利事务所有限公司 32105 代理人: 翟丹丹
地址: 213000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型提供一种便于控制研磨去除量的游行轮,涉及晶片打磨领域。该便于控制研磨去除量的游行轮,包括研磨腔、主动旋转轴和主动齿轮,所述主动旋转轴转动连接在研磨腔的中心并延伸至研磨腔的下方,主动齿轮固定套接在主动旋转轴位于研磨腔内部的外表面,研磨腔的侧壁开设有环形齿牙,环形齿牙和主动齿轮之间啮合有游行轮,所述游行轮包括上游行片和下游行片。该便于控制研磨去除量的游行轮,将要打磨的晶片卡接在工作孔505内,通过旋转调节按钮5035来改变旋转齿轮5034与齿槽5036的不同啮合点进而调整了上游行片501和下游行片501之间的距离,从而控制了打磨去除量,解决了现有技术中无法控制研磨去除量的问题。
搜索关键词: 一种 便于 控制 研磨 去除 游行
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州市好利莱光电科技有限公司,未经常州市好利莱光电科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201921041961.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top