[实用新型]载具自动清洁及检测装置有效
| 申请号： | 201921050365.X | 申请日： | 2019-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN210647622U | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 刘锦坤 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/20 | 分类号： | B08B9/20;B08B9/46;B08B13/00;B08B15/04;G01N33/18;F26B21/00 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型实施例涉及清洁设备技术领域，公开了一种载具自动清洁及检测装置。本实用新型提供的载具自动清洁及检测装置包括：清洗机；杂质检测机；控制系统，所述控制系统控制载具进入所述清洗机，并控制所述清洗机对所述载具进行自动清洗，还控制所述杂质检测机对清洗完成的所述载具进行微尘检测。本实用新型提供的载具自动清洁及检测装置能够自动完成载具的清洗及杂质检测，减少人力成本。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 清洁 检测 装置 | ||
【主权项】：
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