[实用新型]一种宏量制备硅纳米材料装置有效
| 申请号： | 201921052428.5 | 申请日： | 2019-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN210656179U | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 金雪莉 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 蓝天知识产权代理(浙江)有限公司 33229 | 代理人： | 孙炜 |
| 地址： | 318000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型属于纳米材料技术领域，涉及一种宏量制备硅纳米材料装置，包括等离子电源控制的等离子体枪，等离子体枪的内腔连接有惰性气体储罐、硅源储罐，等离子体枪的下端设置有生长控制器，生长控制器的下端设置有冷却容器，冷却容器中设置有释放冷却气体的气体冷却环。本实用新型提供的宏量制备硅纳米材料装置，实现了硅纳米材料尤其是硅纳米线的工业化制备，大幅度降低了材料制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 宏量 制备 纳米 材料 装置 | ||
【主权项】：
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