[实用新型]一种碳化硅籽晶制备用的抛光装置有效
| 申请号： | 201921053050.0 | 申请日： | 2019-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN210550295U | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 赵杰;程鹏 | 申请（专利权）人： | 天津市卓辉电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B41/06;B24B55/00;B24B41/02;B24B41/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300000 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种碳化硅籽晶制备用的抛光装置，包括底座板、加工装置和限位装置，所述底座板顶部一侧固定有加工装置，所述底座板内部开有加工槽，所述加工槽内部底部设有限位装置，所述限位装置与底座板内壁固定连接，所述限位装置设有四个，所述限位装置呈矩形排列，此碳化硅籽晶制备用的抛光装置，使用驱动电机带动抛光轮对碳化硅籽晶进行抛光，抛光动力较为稳定，抛光效果好，提升后续碳化硅制备的质量，使用吸盘吸取碳化硅籽晶片，一方面吸附力更强，便于籽晶抛光的稳定性，提升抛光效果，另一方面保护籽晶片，防止籽晶片折断等其它人造成缺陷，提升籽晶制备的产量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 籽晶 制备 抛光 装置 | ||
【主权项】：
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