[实用新型]一种常压微波等离子体化学气相沉积镀膜设备

摘要

本实用新型公开了一种常压微波等离子体化学气相沉积镀膜设备，包括微波等离子体发生装置、前置物注入装置和工件承托台，所述微波等离子体发生装置包括一放电石英管，放电石英管沿其轴向穿设于一电磁波发射器内，放电石英管入口端连接涡流注射器，涡流注射器另一端连接等离子体气源，放电石英管出口端设置有等离子体喷嘴，所述邻近等离子体喷嘴还设置一电弧产生器，所述前置物注入装置包括前置物气源和前置物喷嘴，所述前置物喷嘴与等离子体喷嘴相连接，且位于工件承托台上方。本实用新型的常压微波等离子体化学气相沉积镀膜设备可透过微波能量及常压环境之下沉积涂层，从而增强不同产品部件表面的防污功能，使产品寿命延长。