[实用新型]用于微米级三维形貌测量仪的扫描机构

摘要

本实用新型涉及三维形貌测量设备技术领域，公开了一种用于微米级三维形貌测量仪的扫描机构。包括工作台，工作台上设有X向移动机构；工作台上沿上下方向设有立柱，立柱上方设有Y向移动机构，Y向移动机构包括沿左右方向且位于立柱上的第二导板，第二导板的侧面上沿左右方向设有第二滑槽，第二滑槽内可转动地设有第二丝杆，第二导板的侧面上设有移动板，移动板的底面上设有位于第二滑槽内且与第二丝杆螺纹连接的第二滑块；移动板上设有Z向移动机构。通过上述构造，使得扫描仪的行程增大，便于进行大范围纵向扫描，同时能够调节扫描仪与载物台之间的距离，从而使扫描机构较佳地工作。

主权项

1.用于微米级三维形貌测量仪的扫描机构，其特征在于：包括工作台(100)，工作台(100)上设有X向移动机构(110)，X向移动机构(110)包括沿前后方向设置的第一导板(111)，第一导板(111)上板面沿前后方向设有第一滑槽(112)，第一滑槽(112)内可转动地设有第一丝杆(113)，第一导板(111)上设有载物台(114)，载物台(114)的底部设有位于第一滑槽(112)内且与第一丝杆(113)螺纹连接的第一滑块(115)；工作台(100)上沿上下方向设有位于第一导板(111)两侧的立柱(101)，立柱(101)上方设有Y向移动机构(120)，Y向移动机构(120)包括沿左右方向且位于立柱(101)上的第二导板(121)，第二导板(121)的侧面上沿左右方向设有第二滑槽(122)，第二滑槽(122)内可转动地设有第二丝杆(123)，第二导板(121)的侧面上设有移动板(131)，移动板(131)的底面上设有位于第二滑槽(122)内且与第二丝杆(123)螺纹连接的第二滑块(132)；移动板(131)上设有Z向移动机构(140)；Z向移动机构(140)包括固定设置在移动板(131)上的固定块(211)，固定块(211)内设有开口向下的升降腔(311)，升降腔(311)的前后侧壁上沿上下方向设有限位槽(312)，升降腔(311)内设有用于安装扫描仪的安装块(411)，安装块(411)的侧壁设有与限位槽(312)相配合的限位块，固定块(211)的上端设有用于驱动安装块(411)沿上下方向升降的气缸(221)。/n