[实用新型]一种靶材溅射深度测试装置有效
| 申请号： | 201921063612.X | 申请日： | 2019-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN210321557U | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;呼雷 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/18 | 分类号： | G01B5/18;G01B5/20 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 张海英 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种靶材溅射深度测试装置，所述的靶材溅射深度测试装置包括测试装置主体以及用于将测试装置主体固定在待测靶材上的固定件；所述的测试装置主体包括可拆卸连接的深度测量组件和水平定位件；所述的深度测量组件包括纵向并排布置的至少一个测量件，各测量件相互独立地在竖直方向上自由移动，所述测量件用于测量靶材表面某点的深度值；所述的水平定位件用于确定各测量件对应的靶材径向位置，各点的深度值与其对应的靶材径向位置配合得到拟合的待测靶材径向深度轮廓曲线。本实用新型提供的靶材溅射深度测试装置在测量过程中具有较高的测试稳定性，操作简单，携带方便，可以随时随地进行测试。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 深度 测试 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料股份有限公司，未经宁波江丰电子材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201921063612.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种可重复利用的幕墙埋件防护装置
- 下一篇：一种生产日化用品的液体防腐存储罐
