[实用新型]一种碳化硅晶片刷洗装置有效
| 申请号： | 201921065577.5 | 申请日： | 2019-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN210966024U | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 蒋宇飞;蒋焰云;朱建国 | 申请（专利权）人： | 无锡赛默可科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;B08B3/02;H01L21/67;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 黄冠华 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种碳化硅晶片刷洗装置，包括C形框架，所述C形框架的内底壁固定连接有定位箱，定位箱的内底壁开设有第一滑槽，定位箱的上表面开设有第一通孔，定位箱的内侧壁固定镶嵌有第一螺纹管，第一滑槽的内部卡接有与第一滑槽相适配的第一滑块，第一滑块的左侧面固定镶嵌有第一轴承，第一滑块的顶端贯穿第一通孔并延伸至定位箱的上方，定位箱的左侧放置有第一螺纹杆，第一螺纹杆的右端贯穿第一螺纹管并与第一轴承的内圈固定连接，第一螺纹杆的外表面与第一螺纹管的内壁螺纹连接，本实用新型设计结构合理，它能够将碳化硅晶片进行左右长度的调节，能够将碳化硅晶片进行夹紧，能够对清洁球进行打湿。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 晶片 刷洗 装置 | ||
【主权项】：
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