[实用新型]加热器有效
| 申请号： | 201921065801.0 | 申请日： | 2019-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN210215538U | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 何文;薛超;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种加热器，所述加热器包括加热器主体、温控单元、进水管和出水管，所述温控单元位于所述加热器主体内，所述温控单元包括多个独立的水路结构。所述加热器主体沿径向分为多个区域，每个区域中设置有一个所述水路结构，各所述水路结构分别与所述进水管和所述出水管连通，冷却水能够经所述进水管流入各所述水路结构后经所述出水管排出。由于所述加热器主体沿径向分为多个区域，每个区域中设置有一个所述水路结构。由此，每个水路结构需要控制的区域较小并且较集中，从而可以精准的控制所在区域的温度，进而降低加热器的温差。 | ||
| 搜索关键词： | 加热器 | ||
【主权项】：
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