[实用新型]单晶炉重锤及具有其的单晶炉有效
申请号: | 201921071834.6 | 申请日: | 2019-07-09 |
公开(公告)号: | CN210341124U | 公开(公告)日: | 2020-04-17 |
发明(设计)人: | 靳秋诚;关树军;陈辉 | 申请(专利权)人: | 北京天能运通晶体技术有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B15/32 |
代理公司: | 北京市鼎立东审知识产权代理有限公司 11751 | 代理人: | 陈佳妹;贾满意 |
地址: | 100176 北京市大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本申请涉及一种单晶炉重锤及具有其的单晶炉,其中单晶炉重锤包括重锤本体和夹持装置,夹持装置与重锤本体同轴设置,其中,夹持装置包括与重锤本体相连接的第一夹持件,第一夹持件的材质为非脆性材质,第一夹持件未与重锤本体相连接的一端具有卡孔,卡孔的内侧固定有用于夹持籽晶的第二夹持件;其中,卡孔的深度大于第二夹持件的长度,以使第二夹持件与重锤本体之间具有间隙。其有效提高了单晶炉重锤的可靠性,使得单晶生长过程的安全系数更高。 | ||
搜索关键词: | 单晶炉 重锤 具有 | ||
【主权项】:
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