[实用新型]光阻供液系统有效
| 申请号： | 201921074380.8 | 申请日： | 2019-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN210015326U | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 杨柯;朱成云;古哲安;黄志凯 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 31295 上海思捷知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种光阻供液系统，所述光阻供液系统包括冷藏槽、解冻槽、第一计时器、第二计时器、光阻泵、暂存槽和单向阀。所述光阻供液系统中，第一计时器计量同一生产批次的光阻在所述冷藏槽内的放置时间，第二计时器计量解冻后的光阻在所述解冻槽内的放置时间，可以降低人工记录卡控保质期和解冻时间导致的差错，并节约人工工时；利用所述光阻供液系统对光刻机台供液，可防止人工运输过程中光阻对人体的伤害并降低光阻瓶破损的可能性，同时节省搬运和更换光阻瓶的人力；所述光阻供液系统中的暂存槽，可以在冷藏槽和解冻槽进行加液或者清洗时，仍然维持向光刻设备供液的状态，使得光阻供液时光刻机台不用停机，有利于增加光刻机台的产出。 | ||
| 搜索关键词： | 光阻 供液系统 计时器 机台 解冻槽 冷藏槽 供液 光阻瓶 暂存槽 解冻 记录卡 计量 本实用新型 光刻设备 人工运输 保质期 单向阀 光刻 加液 停机 破损 搬运 差错 清洗 节约 伤害 生产 | ||
【主权项】：
1.一种光阻供液系统，其特征在于，包括：/n冷藏槽，位于一光阻冷藏区，待用的光阻解冻前被存放于所述冷藏槽；/n解冻槽，位于一常温区，待用的光阻在转移至光刻机台之前在所述解冻槽中进行解冻；/n第一计时器和第二计时器，所述第一计时器计量同一生产批次的光阻在所述冷藏槽内的放置时间，所述第二计时器计量解冻后的光阻在所述解冻槽内的放置时间；/n光阻泵，所述光阻泵的进口端连接所述冷藏槽，出口端连接所述解冻槽；/n暂存槽，解冻后的光阻在转移至所述光刻机台之前部分存放于所述暂存槽内；以及/n单向阀，所述单向阀的进口端连接所述解冻槽，出口端连接所述暂存槽。/n
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