[实用新型]一种白胶反应室

摘要

本实用新型公开了一种白胶反应室，包括有反应室，所述反应室内部设置有搅拌器，所述反应室顶部一侧设置有第一入料口，所述反应室顶部另一侧设置有第二入料口，所述反应室外侧下方设置有气体入口，所述反应室外部设置有气体输出端，所述气体输出端和气体入口通过管道连接，所述气体入口外部设置有排放管，本实用新型入料口直接连到搅拌器上方，落料的同时搅拌器运转，提高搅拌的均匀性，气体入口设置在反应室靠下方的位置，充入的氧气顺着在反应室内部上升，从而充满反应室，便于反应室中进行氧气电浆处理制程，有效避免后续蚀刻制程遭受到碳残留物与硅残留物的污染，有效清除残留物保证反应室的正常工作，延长反应室的使用寿命。