[实用新型]一种多瓣石墨坩埚有效
| 申请号： | 201921092566.6 | 申请日： | 2019-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN210237842U | 公开（公告）日： | 2020-04-03 |
| 发明（设计）人： | 小仓浩昭;黄建明;朱林杰;詹国彬 | 申请（专利权）人： | 上海东洋炭素有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京知呱呱知识产权代理有限公司 11577 | 代理人： | 苏利 |
| 地址： | 201611 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种多瓣石墨坩埚，包括多块相同的瓣体，多块所述瓣体两两相连构成埚体，并且相邻的两块瓣体之间形成有接缝，所述石墨坩埚的接缝处嵌入有保护垫，所述保护垫设置在石墨坩埚底部边缘的圆角处。本实用新型实施例通过在石墨坩埚的接缝内，位于底部上容易发生断裂的圆角处嵌入保护垫片，使得石墨坩埚在高温工作时原本会经过整个接缝处的气体被阻挡在保护垫片上，从而让坩埚在使用后不会整个接缝边缘都发生氧化(仅保护垫片内侧会有氧化现象)，从而在保证热场能够正常运作的基础上，有效解决石墨坩埚在高温下与硅蒸气、氧化硅气体等发生氧化反应使得外石墨坩埚的接缝边缘部位损耗严重，影响坩埚的使用寿命的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 坩埚 | ||
【主权项】：
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