[实用新型]一种MPCVD装置及其托盘

摘要

本实用新型涉及一种MPCVD装置及其托盘。MPCVD装置包括冷却台，冷却台上放置托盘，托盘的下侧面上于托盘中心处设有向下凸出布置的中心导热凸起，以及至少一个环形的外侧导热凸起，外侧导热凸起间隔设置于中心导热凸起外侧，中心导热凸起和外侧导热凸起分别具有下导热支撑面，以与冷却台导热支撑配合，中心导热凸起和外侧导热凸起均关于托盘中心对称布置。本实用新型中，中心导热凸起和外侧导热凸起的下导热支撑面均与冷却台导热支撑配合，以通过中心导热凸起和外侧导热凸起实现为托盘散热的目的，可有效改善托盘上方温度分布不均的问题，有助于提高产品生长过程中在径向上的温度分布均匀性，减小同批次产品的质量差异。