[实用新型]折叠空间电荷区肖特基二极管有效

专利信息
申请号: 201921093482.4 申请日: 2019-07-12
公开(公告)号: CN211150562U 公开(公告)日: 2020-07-31
发明(设计)人: 岳庆冬;王娅 申请(专利权)人: 西安科锐盛创新科技有限公司
主分类号: H01L29/06 分类号: H01L29/06;H01L29/872
代理公司: 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 代理人: 刘长春;闫家伟
地址: 710065 陕西省西安市高新区高新路86号*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 实用新型涉及一种折叠空间电荷区肖特基二极管,包括:衬底;绝缘层,设置于衬底的上表面;第一外延层,设置于绝缘层的上表面;第二外延层,设置于第一外延层的上表面,且与第一外延层之间形成有二维电子气;第三外延层,设置于第二外延层上;第三外延层上设置有第一凹槽;第一凹槽内填充有绝缘材料;第一金属电极,设置于第三外延层上,且设置于第一凹槽的一侧;第二金属电极,设置于第三外延层上,且设置于第一凹槽的另一侧。本实用新型通过在第三外延层上设置凹槽,并通过在第一外延层和第二外延层之间形成二维电子气,可以大幅提升微波无线能量传输系统的能量转换效率。
搜索关键词: 折叠 空间电荷 区肖特基 二极管
【主权项】:
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