[实用新型]管路连接结构及具有其的半导体生产设备有效
| 申请号： | 201921111131.1 | 申请日： | 2019-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN210566791U | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | F16L15/04 | 分类号： | F16L15/04;F16L29/00;B01D46/00;B01D46/12 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 孙宝海;袁礼君 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开涉及半导体储存器技术领域，提出了一种管路连接结构及具有其的半导体生产设备，管路连接结构包括：连接管路，连接管路的一端用于连接排出反应气体的气体排出口，连接管路的另一端用于连接接收反应气体的气体接收口；阀门，阀门设置在连接管路上；过滤件，过滤件设置在连接管路上，且与阀门间隔设置。本公开的管路连接结构在对阀门与连接管路之间的密封性出现问题时，可以仅拆卸二者之间的管路即可进行二次密封，而不用对过滤件进行拆除。相应的，当过滤件的过滤性出现问题时，也可以仅对过滤件进行拆除更换，整个更换的效率较高。 | ||
| 搜索关键词： | 管路 连接 结构 具有 半导体 生产 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长鑫存储技术有限公司，未经长鑫存储技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201921111131.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
