[实用新型]氮化物的制造设备有效
| 申请号： | 201921111286.5 | 申请日： | 2019-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN210368000U | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 乔焜;高明哲;林岳明 | 申请（专利权）人： | 上海玺唐半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B7/10 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 201613 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种氮化物的制造设备，其包括反应容器(1)、第一管路(21)、第二管路(22)和真空泵(3)，所述反应容器(1)的外周设有第一加热器(51)，所述第一管路(21)连接到反应容器(1)，所述第一管路(21)用于向所述反应容器(1)注入反应溶剂，所述第二管路(22)将所述真空泵(3)连接到所述第一管路(21)，所述第一管路(21)和/或所述第二管路(22)的外周设有第二加热器(52)。根据本实用新型的氮化物的制造设备，能有效去除设备内的氧和水，提高氮化物的纯度。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化物 制造 设备 | ||
【主权项】：
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