[实用新型]一种平面靶材的绑定装置有效
| 申请号： | 201921115380.8 | 申请日： | 2019-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN210458348U | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 郑飞雄;廖政堂;黄作;农浩;陆映东 | 申请（专利权）人： | 广西晶联光电材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 柳州市荣久专利商标事务所(普通合伙) 45113 | 代理人： | 韦微 |
| 地址： | 545616 广西壮族自治区柳州市柳*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种平面靶材的绑定装置，该装置包括带滑轨的机架、热台、密封滑盖、气动升降滑块、辅助板、用于控制热台温度的温度控制箱和多个可通过可拆卸方式安装在背板上的限位块。采用本实用新型进行靶材绑定的方法是在常温下将背板、铟板和靶材初步定位在辅助板上，然后放置到热台上加热绑定。当温度升高后，在高温状态时，操作人员只需要打开密封滑盖，检查靶材绑定位置是否符合要求，如有不符合的地方，进行调整。与现有在高温下需要搬运靶材与金属背板贴合的绑定方式相比，本实用新型的操作人员只需在高温下进行位置精度检查和微调，可避免操作人员长时间高温作业，从而降低了工人操作强度，改善了工作环境，提高了绑定质量稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 绑定 装置 | ||
【主权项】：
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