[实用新型]自动固晶机的框架运输勾针错位检测装置有效
申请号: | 201921120732.9 | 申请日: | 2019-07-17 |
公开(公告)号: | CN209912849U | 公开(公告)日: | 2020-01-07 |
发明(设计)人: | 袁凤江;邱锡荣 | 申请(专利权)人: | 佛山市蓝箭电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677 |
代理公司: | 44410 佛山汇能知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 周详;张俊平 |
地址: | 528051 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型属于半导体封装设备技术领域,具体涉及一种自动固晶机的框架运输勾针错位检测装置,包括进位运动组件光杆,从进位运动组件光杆的一端到另一端依次安装有框架错位检测感应器旗杆、框架错位检测感应器安装支架和钩针,框架错位检测感应器安装支架上安装有框架错位检测感应器,所述钩针包括两条平行设置在进位运动组件光杆上的钩针,亦即第一钩针和第二钩针。本实用新型通过轨道内框架错位检测和工作过程的控制,有效地克服了现有技术所存在的上芯率不达标和框架错位报废排数较多等技术缺陷。 | ||
搜索关键词: | 钩针 错位 运动组件 检测 进位 光杆 感应器安装支架 本实用新型 感应器 半导体封装设备 自动固晶机 技术缺陷 检测装置 平行设置 内框架 有效地 勾针 排数 上芯 旗杆 报废 达标 轨道 运输 | ||
【主权项】:
1.一种自动固晶机的框架运输勾针错位检测装置,包括进位运动组件光杆,其特征在于:从进位运动组件光杆的一端到另一端依次安装有框架错位检测感应器旗杆、框架错位检测感应器安装支架和钩针,框架错位检测感应器安装支架上安装有框架错位检测感应器。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造