[实用新型]一种电场控制图形化蒸镀装置有效
| 申请号： | 201921123117.3 | 申请日： | 2019-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN210287479U | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 张志林;张其胜;蒋雪茵 | 申请（专利权）人： | 浙江虹舞科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 万尾甜;韩介梅 |
| 地址： | 317100 浙江省台州市三门县*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电场控制图形化蒸镀装置，包括：蒸发源、具有图形化电极的基板、电源系统；其中：蒸发源包括蒸发源基板、加热电源、和依次设于蒸发源基板上的加热层和蒸发料层，所述的加热层上得第一电极和第二电极均与所述加热电源相连形成回路；所述的具有图形化电极的基板包括基底、及设于所述基底下表面形成图形化的多个电极组，各组电极组通过电源分配器与所述高压直流电源的一极相连，所述高压直流电源的另一极与所述加热层相连，所述电源分配器用于控制其中一组或多组电极组与所述高压直流电源连通，从而实现选择性蒸镀。本实用新型的蒸镀装置可以实现图形化蒸镀，且不需要掩膜板，不需要精确对准，材料利用率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电场 控制 图形 化蒸镀 装置 | ||
【主权项】：
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