[实用新型]一种新型单晶炉组件有效
申请号: | 201921147187.2 | 申请日: | 2019-07-22 |
公开(公告)号: | CN210287577U | 公开(公告)日: | 2020-04-10 |
发明(设计)人: | 钱拓;陈林军 | 申请(专利权)人: | 新疆晶科能源有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人: | 孟阿妮;张小勇 |
地址: | 835800 新疆维吾尔自*** | 国省代码: | 新疆;65 |
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摘要: | 本实用新型公开了单晶硅生产装置技术领域的一种新型单晶炉组件,包括外壳、顶板、内炉、主框、副框、底座和底架,所述外壳的顶部接触所述顶板,所述外壳的内部接触所述内炉,所述外壳的内腔左右侧壁通过螺栓固定连接有所述主框和副框,该种新型单晶炉组件,利用整体外壳内置的方式,使底座和底架对内炉进行支撑,内炉被主框和副框的接触板固定后,保持稳定,通过旋转带有空腔的转盘带动顶板下移对槽口进行密封,使夹头对籽晶进行夹取的同时,保证内炉的整体内置,在同等温度下有效提高内炉的温度,内部环境保温性好,节能环保,也有效降低内炉与外部的接触面积,使外部氧含量的干扰情况降低,单晶硅形成环境趋于稳定,以达到提升品质目的。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 单晶炉 组件 | ||
【主权项】:
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