[实用新型]一种大尺寸碳化硅晶体生长装置有效
| 申请号： | 201921155264.9 | 申请日： | 2019-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN210287584U | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 李留臣;周正星 | 申请（专利权）人： | 江苏星特亮科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 刘鑫 |
| 地址： | 215627 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种大尺寸碳化硅晶体生长装置，包括第一腔体和第二腔体、可沿上下方向活动的穿设于第一腔体和第二腔体中的坩埚、下端连接在坩埚顶部且上端穿出第二腔体的坩埚轴、设于第一腔体中的加热机构和保温机构、开设于第一腔体上和/或第二腔体上的抽气口和充气口；加热机构机构包括上下间隔分布的上加热电阻和下加热电阻；上加热电阻由设于坩埚上方的第一圆盘和围设于坩埚上侧周部的第一筒体组成；下加热电阻为设于坩埚下方的第二圆盘或由第二圆盘和围设于坩埚下侧周部的第二筒体组成。本实用新型大尺寸碳化硅晶体生长装置，坩埚上部和下部不仅可以获得均匀的横向温度，还能够获得精确的纵向温度梯度，满足大尺寸晶体生长工艺温度要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 碳化硅 晶体生长 装置 | ||
【主权项】：
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