[实用新型]一种晶元蓝膜张紧装置有效
| 申请号： | 201921155832.5 | 申请日： | 2019-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN209993617U | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 向军;冯霞霞;封浩 | 申请（专利权）人： | 江苏新智达新能源设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/48 | 分类号： | H01L33/48;H01L21/67;H01L21/687 |
| 代理公司： | 32333 南京中高专利代理有限公司 | 代理人： | 祝进 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种晶元蓝膜张紧装置，包括转轮，所述转轮的上端固定设置有安装板，所述安装板的中部设置有环形定位凸台，所述环形定位凸台上放置晶元蓝膜，所述安装板的上方设置有压板，所述压板的中部设有与所述定位凸台同心的取晶孔，所述压板通过竖直调节机构从上往下压紧所述晶元蓝膜的外周，通过将晶元蓝膜安装到环形定位凸台上，竖直调节机构从上往下压紧晶元蓝膜的外周，蓝膜被拉伸张紧使得蓝膜上的晶元间距更大更标准，晶元与蓝膜的吸附力减小，方便了后续的自动化取晶操作。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝膜 晶元 安装板 压板 定位凸 竖直 外周 下压 转轮 环形定位凸台 本实用新型 定位凸台 上端固定 张紧装置 同心的 吸附力 减小 种晶 伸张 自动化 | ||
【主权项】：
1.一种晶元蓝膜张紧装置，其特征在于：包括转轮（1），所述转轮（1）的上端固定设置有安装板（2），所述安装板（2）的中部设置有环形定位凸台（3），所述环形定位凸台（3）上放置晶元蓝膜，所述安装板（2）的上方设置有压板（4），所述压板（4）的中部设有与所述定位凸台同心的取晶孔（5），所述压板（4）通过竖直调节机构从上往下压紧所述晶元蓝膜的外周。/n
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