[实用新型]一种新型磁控溅射换靶辅助工具有效
| 申请号： | 201921160423.4 | 申请日： | 2019-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN210215527U | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 陈坤;陈培专;李仁龙;魏昌华;高翔 | 申请（专利权）人： | 绵阳金能移动能源有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人： | 贾晓燕 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型磁控溅射换靶辅助工具，包括：滑块，其结构包括：安装板，安装板两端安装有侧板，安装板下表面设置有套孔，侧板设置有安装通孔，安装通孔中设置有键槽；轮轴，其结构包括设置为一体的安装轴、限位部件以及滚轮轴，其中限位部件位于安装轴与滚轮轴之间；卡箍，其安装于滚轮轴的环形沟槽中；滚轮，其安装于滚轮轴上且位于卡箍与限位部件之间，滚轮的内圈与滚轮轴固定连接，且外圈为可转动设置；安装轴上设置有与键槽相适配的轮轴键槽，安装轴通过平键固定在安装通孔中；导轨，滑块放置于导轨上。相比现有的行车吊或龙门吊方式，此设计具有结构简单、易于安装、使用方便的特点，在简化换靶工作的同时，显著提高换靶效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 磁控溅射 辅助工具 | ||
【主权项】：
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