[实用新型]一种薄膜沉积外延炉翻新用清洁剂喷涂设备有效
| 申请号： | 201921160684.6 | 申请日： | 2019-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN210523316U | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 沈恒文;林旭斌;金修领;吉双平;郝小峰;刘彤辉 | 申请（专利权）人： | 江苏艾匹克半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/093 | 分类号： | B08B9/093 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 黄冠华 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种薄膜沉积外延炉翻新用清洁剂喷涂设备，包括连接板，所述连接板的顶部固定连接有水箱，所述连接板的顶部固定连接有位于水箱右侧的水泵，所述水泵的输入端与水箱的左侧连通，所述连接板的顶部固定连接有与水泵输出端连通的分流箱，所述分流箱的顶部通过销轴活动连接有喷头本体，所述喷头本体与分流箱的顶部连通。该薄膜沉积外延炉翻新用清洁剂喷涂设备，通过水泵将清洁剂抽出并注入分流箱的内部，清洁剂通过喷头本体向外喷洒进行清理，解决了现有的喷洒方式多是使用人工来进行喷洒，降低了外延炉的翻新效率且清洁剂喷洒不均匀的问题，该薄膜沉积外延炉翻新用清洁剂喷涂设备，具备自动化喷洒等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 沉积 外延 翻新 清洁剂 喷涂 设备 | ||
【主权项】：
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