[实用新型]内衬接地装置及反应腔室有效
| 申请号： | 201921169003.2 | 申请日： | 2019-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN210073762U | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 简师节 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种内衬接地装置，用于使内衬与基座之间电导通；包括弹性接地件，弹性接地件包括连接部、延展部和弯折部；连接部用于与内衬连接，延展部沿着内衬的轴向平整地延伸，弯折部相对于内衬的轴向倾斜并向基座的方向平整地延伸，弯折部用于产生弹性形变以与目标面保持贴合，使内衬与基座之间保持电导通。本实用新型提供的内衬接地装置及反应腔室，能够提高内衬接地的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 内衬 弯折部 本实用新型 弹性接地件 接地装置 电导通 延展部 平整 弹性形变 反应腔室 轴向倾斜 接地 目标面 延伸 贴合 轴向 | ||
【主权项】：
1.一种内衬接地装置，用于使内衬与基座之间电导通；其特征在于，包括弹性接地件，所述弹性接地件包括连接部、延展部和弯折部；所述连接部用于与所述内衬连接，所述延展部沿着所述内衬的轴向平整地延伸，所述弯折部相对于所述内衬的轴向倾斜并向所述基座的方向平整地延伸，所述弯折部用于产生弹性形变以与目标面保持贴合，使所述内衬与所述基座之间保持电导通。/n
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