[实用新型]一种反应磁控溅射旋转阴极靶中毒的表面处理装置有效
| 申请号： | 201921178146.X | 申请日： | 2019-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN210938622U | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 沈江民 | 申请（专利权）人： | 河南卓金光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B27/033 | 分类号： | B24B27/033;B24B41/00;B24B41/06;B24B47/12;B24B47/16;B24B47/22;B24B49/00;B24B49/16;C23C14/35 |
| 代理公司： | 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 | 代理人： | 谢肖雄 |
| 地址： | 471000 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 为了解决现有技术中反应磁控溅射旋转阴极表面中毒后均采用手砂轮磨光机手工表面抛磨的问题，本实用新型提供一种反应磁控溅射旋转阴极靶中毒的表面处理装置，包括高速千叶磨轮Z轴升降机构、Y轴导入机构、旋转阴极靶锁定机构、旋转阴极靶升降机构、以及触控全自动系统；其中，所述的触控全自动系统与高速千叶磨轮Z轴升降机构、Y轴导入机构、旋转阴极靶升降机构、旋转阴极靶锁定机构分别电连接，用于控制反应溅射阴极中毒靶材通过旋转阴极靶升降机构调整高度，再通过旋转阴极靶升降机构与旋转阴极靶的轴线重合，利用旋转阴极靶锁定位置后，通过高速千叶磨轮Z轴升降机构带动高速千叶磨轮进行打磨。本实用新型结构简单，效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 反应 磁控溅射 旋转 阴极 中毒 表面 处理 装置 | ||
【主权项】：
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