[实用新型]真空干燥装置有效
| 申请号： | 201921178612.4 | 申请日： | 2019-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN210425778U | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 王思元;王允军 | 申请（专利权）人： | 苏州星烁纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/04 | 分类号： | F26B5/04;F26B9/06;F26B21/00;F26B23/00;F26B25/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供真空干燥装置，其包括真空腔室，主气流管道，及承载台，真空腔室包括一级气流缓冲区和二级气流缓冲区，二级气流缓冲区位于一级气流缓冲区与承载台之间。通过设置多级气流缓冲区，使得在工作过程中腔室内气流均匀稳定，实现有效的气流调控，有利于基板的中间区域与边缘区域的墨水溶剂挥发速率平衡，进而提高成膜均匀性，改善器件发光性能。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 干燥 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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