[实用新型]基于狭缝波导的锥形偏振分束器有效
申请号: | 201921180966.2 | 申请日: | 2019-07-25 |
公开(公告)号: | CN210072135U | 公开(公告)日: | 2020-02-14 |
发明(设计)人: | 汪大伟;汪巍;方青;涂芝娟;曾友宏;蔡艳;余明斌 | 申请(专利权)人: | 上海新微技术研发中心有限公司 |
主分类号: | G02B6/126 | 分类号: | G02B6/126;G02B6/132;G02B6/136;G02B6/138 |
代理公司: | 31219 上海光华专利事务所(普通合伙) | 代理人: | 罗泳文 |
地址: | 201800 上海市嘉定区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型提供一种基于狭缝波导的锥形偏振分束器,分束器包括锥形耦合器及偏振滤波器;锥形耦合器包括条形硅波导及狭缝波导,条形硅波导及狭缝波导在耦合长度方向上具有相反的宽度变化趋势;偏振滤波器包括串联在锥形耦合器的TE输出端的第一偏振滤波器及串联在锥形耦合器的TM输出端的第二偏振滤波器,第一偏振滤波器用以TE偏振态的传导,并将TM偏振态耦合到第一狭缝波导中;第二偏振滤波器用以过滤TE偏振态,并将TM偏振态的偏振模式从第二狭缝波导向第二条形硅波导转化。本实用新型器件可利用集成工艺制备,工艺简单且容差较大,尺寸较小,在较宽的波长范围内均可以实现较高的消光比,易于实现与其他器件的集成。 | ||
搜索关键词: | 偏振滤波器 锥形耦合器 狭缝波导 硅波导 本实用新型 串联 偏振分束器 集成工艺 宽度变化 偏振模式 输出 耦合 波导向 分束器 消光比 耦合到 波长 容差 狭缝 传导 制备 过滤 转化 | ||
【主权项】:
1.一种基于狭缝波导的锥形偏振分束器,其特征在于,所述锥形偏振分束器包括:/n串联的锥形耦合器及偏振滤波器;/n所述锥形耦合器包括条形硅波导及狭缝波导,所述条形硅波导及狭缝波导在耦合长度方向上具有相反的宽度变化趋势,所述条形硅波导随着耦合距离的增加,宽度逐渐变小,所述狭缝波导随着耦合距离的增加,宽度逐渐变大;/n所述偏振滤波器包括串联在所述锥形耦合器的TE输出端的第一偏振滤波器及串联在锥形耦合器的TM输出端的第二偏振滤波器,所述第一偏振滤波器包括第一条形硅波导与第一狭缝波导,用以TE偏振态的传导,并将TM偏振态耦合到所述第一条形硅波导旁的所述第一狭缝波导中以将所述TM偏振态耦合滤去;所述第二偏振滤波器包括第二条形硅波导与第二狭缝波导,用以过滤TE偏振态,并将TM偏振态的偏振模式从所述第二狭缝波导向所述第二条形硅波导转化。/n
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