[实用新型]一种晶圆扩膜机用运输保护装置

摘要

本实用新型公开了运输箱技术领域的一种晶圆扩膜机用运输保护装置，包括有运输箱，所述运输箱底端左右对称设置有滚轮，所述运输箱内腔中部水平设置有横隔板，本实用新型通过设计的特制运输箱，能够将多组扩膜机间隔存放，避免多组扩膜机之间相互挤压碰撞，通过在放置腔两侧设置充气气囊，能够有效夹持住扩膜机，且使得扩膜机在横向上有较好的对抗震动的能力，通过设置在横隔板内部的主管道，能够同时为多组气囊充气，且管道分布设计合理美观，占容较小，通过设置的支撑板、复位弹簧以及弹性片，使得装置在纵向上具有减震效果，通过设置的滚轮，使得运输箱本体具有移动性，便于短距离运输或箱体装车。