[实用新型]节能改进型双银中空玻璃磁控溅射银靶间距调节机构有效
| 申请号： | 201921201249.3 | 申请日： | 2019-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN210765491U | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 郭博;郭亚霓;郭超 | 申请（专利权）人： | 江阴沐祥节能装饰工程有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 江阴义海知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 | 代理人： | 王威钦 |
| 地址： | 214400 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种节能改进型双银中空玻璃磁控溅射银靶间距调节机构，包括设置在磁控溅射镀膜机其真空腔室下方的调节定板与调节动板，调节定板及调节动板均为环形板，调节定板与调节动板之间固定设置环形的波纹管，位于调节定板与调节动板之间设置至少两组调节部件，调节部件位于波纹管的外侧。本实用新型通过调节部件并配合波纹管可以实现根据不同真空腔室的情况合理调节磁控溅射银靶与基材的间距，最大化的降低边缘效应，并且由于每个真空腔室的情况不同，能够根据情况调节间距比以往单独制备定厚的金属垫块更好。 | ||
| 搜索关键词： | 节能 改进型 中空玻璃 磁控溅射 间距 调节 机构 | ||
【主权项】：
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