[实用新型]一种硅片清洗液循环系统

摘要

本实用新型公开了一种硅片清洗液循环系统，涉及硅片清洗技术领域，针对现有清洗液利用率不高的问题，现提出如下方案，其包括清洗箱，所述清洗箱底端设有出水管，所述出水管底端设有三通，所述出水管底端通过三通分别固定有第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀，所述第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀分别通过连管连接有第一循环箱、第二循环箱、滤水装置，滤水装置侧壁固定有净水箱，所述净水箱内设有抽水泵。本实用新型中，通过第一循环箱和第二循环箱等结构的设置，可以用第一循环箱内的清洗液对硅片进行预洗，第二循环箱内的清洗液对硅片进行精洗，完后第二循环箱内的清洗液可以抽送到第一循环箱中做预洗，节省了清洗液。

主权项

1.一种硅片清洗液循环系统，包括清洗箱(1)，其特征在于，所述清洗箱(1)底端设有出水管(2)，所述出水管(2)底端设有三通，所述出水管(2)底端通过三通分别固定有第一电磁阀(3)、第二电磁阀(4)、第三电磁阀(5)，所述第一电磁阀(3)、第二电磁阀(4)、第三电磁阀(5)分别通过连管连接有第一循环箱(6)、第二循环箱(7)、滤水装置，滤水装置侧壁固定有净水箱(8)，所述净水箱(8)内设有抽水泵，所述净水箱(8)上设有通向清洗箱(1)的水管，所述第一循环箱(6)内腔设有第一水泵(9)，所述第二循环箱(7)内设有第二水泵(10)和第三水泵(11)，所述第二水泵(10)连接有通向第一循环箱的分液管(12)，所述第一水泵(9)、第三水泵(11)均连接有通向清洗箱(1)的输液管(13)，所述第一循环箱(6)底端设有第四电磁阀(14)，所述第四电磁阀(14)底端通过水管连接有废液箱(15)，滤水装置底端设有第五电磁阀(16)，所述第五电磁阀(16)底端连接有通向废液箱(15)的水管；/n滤水装置包括滤水箱(17)，滤水箱(17)内设有电机(18)，所述电机(18)的输出轴端固定有凸轮(19)，所述凸轮(19)正面边缘处转动连接有连杆(20)，所述连杆(20)的另一端转动连接有活塞(21)，所述滤水箱(17)另一端设置有半透膜(22)。/n