[实用新型]一种硅基扇出型晶圆级封装结构有效

专利信息
申请号: 201921226336.4 申请日: 2019-07-31
公开(公告)号: CN210224007U 公开(公告)日: 2020-03-31
发明(设计)人: 王成迁;明雪飞;吉勇 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第五十八研究所
主分类号: H01L23/31 分类号: H01L23/31;H01L23/367;H01L23/488
代理公司: 无锡派尔特知识产权代理事务所(普通合伙) 32340 代理人: 杨立秋
地址: 214000 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开一种硅基扇出型晶圆级封装结构,属于集成电路封装领域。所述硅基扇出型晶圆级封装结构包括硅基,其第一面刻蚀有散热通道,散热通道上沉积有截止层;所述硅基的第二面刻蚀有凹槽并埋入芯片;所述芯片的焊盘通过第一层布线和微凸点与n层布线连接;所述n层布线连接有最后一层布线,所述最后一层布线上制作有阻焊层和凸点。
搜索关键词: 一种 硅基扇出型晶圆级 封装 结构
【主权项】:
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