[实用新型]薄膜体声波谐振器有效
| 申请号： | 201921232008.5 | 申请日： | 2019-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN209994354U | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 张树民;王国浩;汪泉;陈海龙;郑根林;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 杭州左蓝微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/17 |
| 代理公司： | 11226 北京中知法苑知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李明 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭州经济技术开*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种薄膜体声波谐振器，包括：基板，硅结构层，至少一组纵向布拉格反射栅，压电堆叠结构以及至少一组横向反射栅。其中，各组纵向布拉格反射栅沿基板的厚度方向依次层叠设置在基板承载面上，纵向布拉格反射栅沿长度方向一端与硅结构层相接，每组纵向布拉格反射栅均包括至少两层具有不同声阻抗的薄膜材料层，此外，至少一组横向反射栅的各组横向反射栅均设置在压电堆叠结构的边缘区域，且各组横向反射栅沿基板的长度方向交替设置。本实用新型提供的薄膜体声波谐振器在横向与纵向上均设置反射栅，有利于将声波能量限制在器件有效区域，实现能陷作用，可以进一步提高器件的Q值，从而使谐振器具有较高的频率稳定度。 | ||
| 搜索关键词： | 布拉格反射栅 横向反射 基板 薄膜体声波谐振器 本实用新型 堆叠结构 硅结构层 压电 薄膜材料层 频率稳定度 边缘区域 基板承载 交替设置 声波能量 依次层叠 有效区域 反射栅 谐振器 两层 阻抗 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜体声波谐振器，其特征在于，包括：/n基板，所述基板包括承载面，所述承载面上设置有第一凹槽；/n硅结构层，所述硅结构层设置在所述承载面上；/n至少一组纵向布拉格反射栅，各组所述纵向布拉格反射栅沿所述基板的厚度方向依次层叠设置在所述承载面上，所述纵向布拉格反射栅沿长度方向的一端与所述硅结构层相接，每组所述纵向布拉格反射栅均包括至少两层具有不同声阻抗的薄膜材料层；/n压电堆叠结构，所述压电堆叠结构的边缘区域位于所述硅结构层背离所述基板的一侧以及最顶层的一组所述纵向布拉格反射栅背离所述基板的一侧，所述压电堆叠结构的中央区域与所述第一凹槽相连通；/n至少一组横向反射栅，各组所述横向反射栅均设置在所述压电堆叠结构的边缘区域，且各组所述横向反射栅沿所述基板的长度方向交替设置。/n
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