[实用新型]直立运输托盘的镀膜设备有效
| 申请号： | 201921235520.5 | 申请日： | 2019-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN210736876U | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 陈厚模;陈麒麟;卢贤政 | 申请（专利权）人： | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了直立运输托盘的镀膜设备，包括：用于放置基板的托盘和运送托盘的传输轨道，传输轨道具有直立运输段，直立运输段至少有一侧设置有镀膜组，镀膜组由从上至下排列的至少两个镀膜装置构成；直立运输段运送托盘时，托盘与垂直面存在夹角θ，镀膜组给托盘中的基板投射镀膜。本实用新型具有镀膜效率高、膜厚均匀等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 直立 运输 托盘 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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