[实用新型]一种用于液态前驱体的化学气相沉积反应炉

摘要

本实用新型公开了一种用于液态前驱体的化学气相沉积反应炉，适用于低压到常压的反应环境。该反应炉包括：反应室；设置于反应室前端、通过管路与反应室并联连接的液态前驱体钢瓶和气体钢瓶；设置于反应室后端、通过管路与反应室连接的蝶阀和连接蝶阀的真空泵；其中，液态前驱体钢瓶上设有两根管路，一根通往大气，一根连接反应室，与反应室连接的管路上设有双通阀，所述液态前驱体钢瓶设于水浴或油浴装置中；气体钢瓶通过管路连接反应室，在连接管路上设有双通阀；所述蝶阀与反应室之间设有压力表，蝶阀两端并联有针阀。本实用新型操作简便，适用范围广，能有效避免传统鼓泡法、注射泵法带来的各种缺陷。