[实用新型]一种电容传感器

摘要

本实用新型公开了一种电容传感器，包括感测膜、背极板以及用于支撑感测膜和背极板的基板，感测膜包括用于接收外部信号而振动的振动部和环设于振动部外周以用于与基板连接的安装部，振动部和安装部之间设有通孔，背极板包括与振动部相对设置形成电容的主体部和从主体部朝向基板延伸的延伸部，延伸部穿过通孔后与基板连接。本实用新型的电容传感器，通过设置感测膜包括振动部和安装部，背极板包括主体部和延伸部，主体部与振动部相对设置且与其配合形成电容，振动部和安装部之间设有通孔，延伸部穿过通孔后与基板连接，这样将振动部作为感测区域，而振动部又是感测膜的高位移量区域，因此提高了电容传感器的灵敏度。

主权项

1.一种电容传感器，包括感测膜、背极板以及用于支撑所述感测膜和所述背极板的基板，所述感测膜包括用于接收外部信号而振动的振动部和环设于所述振动部外周以用于与所述基板连接的安装部，其特征在于，所述振动部和所述安装部之间设有通孔，所述背极板包括与所述振动部相对设置形成电容的主体部和从所述主体部朝向所述基板延伸的延伸部，所述延伸部穿过所述通孔后与所述基板连接。