[实用新型]具有嵌入式加热器的面板有效
| 申请号： | 201921254411.8 | 申请日： | 2019-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN210182327U | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | D·黄;张宇星;K·高希;K·阿拉亚瓦里;A·K·班塞尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 杨学春;侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种用于处理腔室的面板。所述面板具有主体，所述主体具有多个孔隙，所述多个孔隙穿过所述主体形成。挠曲件形成在所述主体中，部分地包围所述多个孔隙。切口在与所述挠曲件的公共半径上穿过所述主体形成。一个或多个孔口从所述切口的径向内表面延伸到所述主体的外表面。加热器设置在所述挠曲件与所述多个孔隙之间。所述挠曲件和所述切口是限制来自所述加热器的热传递从其经过的热扼流器。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 嵌入式 加热器 面板 | ||
【主权项】：
暂无信息
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