[实用新型]载物台水冷装置有效
| 申请号： | 201921260799.2 | 申请日： | 2019-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN210569501U | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 李言彬;张志强 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | F25D31/00 | 分类号： | F25D31/00;F25D17/02;F25D29/00;G01D21/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 傅康 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种载物台水冷装置，包括：水箱、第一管道和第二管道、驱动组件、控制组件和流量检测组件，水箱具有抽水口和回流口，第一管道包括与抽水口连接的抽取管道、位于载物台内部的冷却管道以及与水箱的回流口连接的回流管道，第二管道连接于抽取管道和回流管道之间且靠近水箱，第一管道与水箱形成制冷循环回路，第二管道与水箱形成测试循环回路；控制组件控制驱动组件开通制冷循环回路、关闭测试循环回路，通过流量检测组件获取抽水口处的第一流量值和回流管道的第二流量值，还控制驱动组件关闭制冷循环回路、开通测试循环回路，通过流量检测组件获取抽水口处的第三流量值。在本申请中，根据上述流量值和目标流量值便可判断出故障类型。 | ||
| 搜索关键词： | 载物台 水冷 装置 | ||
【主权项】：
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