[实用新型]基于可调节与反向热补偿进行热变形控制的主扩束系统

摘要

本实用新型提供一种基于可调节与反向热补偿进行热变形控制的主扩束系统。本实用新型包括镜筒、分别设置在镜筒两端的主镜室底座和次镜室底座，主镜室底座上安装主镜室，主镜室里面安装主镜，次镜室底座上通过导轨安装次镜室，次镜室里面安装次镜，主镜室与次镜室之间连接热变形控制组件；热变形控制组件包括与主镜室底座连接的第一杆组和与次镜室连接的第二杆组，第一杆组与联轴器一固定连接，第二杆组与联轴器二固定连接，联轴器一与联轴器二之间通过粘胶固化连接，第一杆组与联轴器一采用相同的材质，第二杆组与联轴器二采用相同的材质。本实用新型能够使得扩束系统的主、次镜间距在40℃温差影响下热变形量控制在2μm以内。