[实用新型]一种高通量电子束组合材料蒸发系统有效
| 申请号： | 201921276030.X | 申请日： | 2019-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN210287496U | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 余应明;郭鸿杰;鲁森钱 | 申请（专利权）人： | 宁波星河材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/04;C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 上海一平知识产权代理有限公司 31266 | 代理人： | 徐迅;唐雪娇 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波市宁波高*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜系统领域，公开了一种高通量电子束组合材料蒸发系统。该高通量电子束组合材料蒸发系统包括：真空腔体，所述真空腔体设置为真空；电子束蒸发装置，设置于所述真空腔体下部；基片托架，设置于所述真空腔体上部，用于放置基片；连续掩膜装置和/或分立掩膜装置，设置于所述真空腔体上部，位于所述基片托架和所述电子束蒸发装置之间。本实用新型的高通量电子束组合材料蒸发系统，实现了高通量材料样品的制备，大大提高了组合材料样品的制备效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 通量 电子束 组合 材料 蒸发 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波星河材料科技有限公司，未经宁波星河材料科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201921276030.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种便于安装的太阳能循环泵
- 下一篇：一种增减材加工一体装置
- 同类专利
- 专利分类
