[实用新型]一种适用于黑硅挖孔的槽体有效
| 申请号： | 201921280257.1 | 申请日： | 2019-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN211199474U | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 徐昆;付少剑;王立富;邵辉良;黄明;李超;孟少东 | 申请（专利权）人： | 江西展宇新能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 陈志海 |
| 地址： | 334100 江*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种适用于黑硅挖孔的槽体，在原有结构基础上副槽增加了精密滤网，药液经滤网过滤后，能够去除废渣及副产物，确保药液的活性；主槽增加高速转子，能加速槽体内药液循环，从而提高药液寿命，快速搅拌使槽内药液更均匀，与硅片充分反应；同时增加温度计数量，可精准确定槽体药液温度，便于监控槽体内温度变化，防止电机空转。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 黑硅挖孔 | ||
【主权项】：
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