[实用新型]一种FAB生产厂房有效
| 申请号： | 201921285784.1 | 申请日： | 2019-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN212027285U | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 罗桥;张东;李成新;安力壮;侯崇强;雍倩文 | 申请（专利权）人： | 世源科技工程有限公司;中国电子工程设计院有限公司 |
| 主分类号： | E04H5/02 | 分类号： | E04H5/02;E04H1/12;E04F15/024 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 金银花 |
| 地址： | 100142 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及集成电路生产技术领域，公开一种FAB生产厂房。FAB生产厂房，包括从上至下依次设置的洁净生产层、洁净下夹层和下技术夹层，其中，所述下技术夹层中增设有第一洁净生产区。增设的该第一洁净生产区位于洁净下夹层的下方，形成上下双层洁净室。在上述FAB生产厂房的下技术夹层增设洁净生产区，可以增大生产面积，减少晶圆的生产传输路线，也有利于消防疏散。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 fab 生产 厂房 | ||
【主权项】：
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