[实用新型]微透镜母模

摘要

本实用新型实施例公开了一种微透镜母模，其包括：衬底、金属连接层和多排金属半球部，相邻两排金属半球部之间设置有间隙，每排金属半球部包括多个金属半球，相邻金属半球之间具有空隙，所述金属半球与金属连接层一一对应，所述金属连接层贴合在所述衬底上，所述金属半球固定在金属连接层上。利用本实用新型实施例不仅能够简化制作工艺，还可采用常规半导体加工工艺实现高精度、高密度、高占空比微透镜母模的制造，大大降低生产成本，同时还可采用电镀和高温真空回流技术使金属半球表面光滑如镜，大大降低金属半球的粗糙度，实现超低粗糙度制造，而且易于清洁和再生，可适应各种微透镜母模的制造，适用性广。