[实用新型]一种电子枪高压防打火屏蔽罩有效
申请号: | 201921287617.0 | 申请日: | 2019-08-09 |
公开(公告)号: | CN210287517U | 公开(公告)日: | 2020-04-10 |
发明(设计)人: | 陈基平;陈宏忠 | 申请(专利权)人: | 福建科彤光电技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56 |
代理公司: | 福州盈创知识产权代理事务所(普通合伙) 35226 | 代理人: | 余宏鹏 |
地址: | 350014 福建省福州*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型公布了一种电子枪高压防打火屏蔽罩,包括第一屏蔽罩和第二屏蔽罩,所述第一屏蔽罩和所述第二屏蔽罩以可拆卸方式固定在所述电子枪上,所述第一屏蔽罩包括第一主罩体、第一右侧罩体和第一后侧罩体。本实用新型的屏蔽罩采用不锈钢材料制备而成,结构稳固,屏蔽效果好,而且屏蔽罩以可拆卸方式固定在箱式真空镀膜机上,方便安装和检修,而且相配合的两个罩体设置相切合的凹槽和透线孔,不影响真空镀膜机的正常运行,解决了真空镀膜机在镀膜过程中有粉末飞到高压电极时高压容易打火,高压与离子源容易相互干扰也容易引起打火的技术问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 电子枪 高压 打火 屏蔽 | ||
【主权项】:
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