[实用新型]水平测量装置及光刻设备有效
| 申请号： | 201921289507.8 | 申请日： | 2019-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN210377021U | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01B11/30;H01L21/66 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 罗平 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种水平测量装置及光刻设备，所述水平测量装置包括：载物台和水平传感器，所述水平传感器用于测量所述载物台上承载的物体表面的平整情况，其中，所述水平传感器包括从水平传感器组中选择的至少一个传感器组件，所述水平传感器组包括尺寸不相同的传感器组件。因此该光刻设备的水平传感器的测量尺寸是可调的，操作人员能够使用测量尺寸与曝光区域尺寸相匹配的水平传感器对晶圆进行测量，测量精确度较高。 | ||
| 搜索关键词： | 水平 测量 装置 光刻 设备 | ||
【主权项】：
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