[实用新型]一种多腔室一体反应石英混合喷头有效
| 申请号： | 201921298676.8 | 申请日： | 2019-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN210856409U | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 高建锋 | 申请（专利权）人： | 湖州维德光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/14 | 分类号： | C30B28/14;C30B29/40 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 岳野 |
| 地址： | 313008 浙江省湖州市吴兴区织*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多腔室一体反应石英混合喷头，包括顶部封口底部敞口的喷头本体，其内成型隔离柱,隔离柱外侧套装套管，与隔离柱之间形成隔离腔，套管外侧壁与喷头本体内侧壁密封连接环形衬板，其与喷头本体形成反应腔室，环形衬板下方成型隔板，喷头本体和套管之间通过隔板形成N形气流通道，喷头本体下端外侧成型套环腔，套环腔通过第一和第二环形隔板与喷头本体之间形成S形气流通道，还包括一号、二号和三号管路，一号管路、反应腔室和隔离腔形成第一进气通道，二号管路与N形气流通道形成第二进气通道，三号管路与S形气流通道形成第三进气通道，喷头本体下方设衬底圆片。本实用新型结构合理，提高了氮化镓的生长效率和纯度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多腔室 一体 反应 石英 混合 喷头 | ||
【主权项】：
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