[实用新型]基于微球的反射式高分辨显微成像系统有效
| 申请号： | 201921305129.8 | 申请日： | 2019-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN210323558U | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 万新军;陶雪辰;苏程程;陈红豆;宋可;吕宋;解树平 | 申请（专利权）人： | 苏州瑞霏光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B21/02 | 分类号： | G02B21/02;G02B21/36;G02B21/34;G02B21/06 |
| 代理公司： | 苏州周智专利代理事务所(特殊普通合伙) 32312 | 代理人： | 周雅卿 |
| 地址： | 215400 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于微球的反射式高分辨显微成像系统，包括微球、显微摄像模块、接收端和激发光源，所述微球放置于样品的上表面，所述微球上覆盖一盖玻片，所述显微摄像模块位于样品的正上方，所述激发光源位于所述显微摄像模块的一侧；所述显微摄像模块包括第一透镜组、反射式照明结构、第二透镜组和图像传感器，所述第一透镜组和所述第二透镜组对称设置，所述图像传感器与所述接收端电性连接，所述激发光源发出的光源照射于所述反射式照明结构上。本实用新型具有分辨率高、体积小、结构简单、成本低、稳定性高、模块化等优点，适用于测试硅片、半导体等不透明样品。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 反射 分辨 显微 成像 系统 | ||
【主权项】：
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